據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道稱，俄羅斯近日繞過(guò)了制裁，為本國(guó)存在了35年的光刻機(jī)續(xù)命。
報(bào)道中提到，盡管歐洲制裁禁止向俄羅斯實(shí)體出售任何高科技機(jī)器，但俄羅斯公司仍在2022年和2023年成功獲得了ASML 1990年代芯片制造機(jī)器的備件。
俄羅斯進(jìn)口商已經(jīng)想方設(shè)法為ASML的PAS 5500光刻工具引進(jìn)了至少170批備件，而ASML 則表示，近年來(lái)沒(méi)有銷售產(chǎn)品或與俄羅斯分銷商有任何往來(lái)。
ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出，并在20世紀(jì)90年代和2 世紀(jì)初不斷發(fā)展。如今，PAS 5500系列包括i-line、氟化氪（KrF）步進(jìn)機(jī)以及 i-line、KrF 和氟化氬（ArF）步進(jìn)掃描系統(tǒng)。
雖然ASML不再生產(chǎn)這些光刻工具，但它銷售翻新的PAS 5500機(jī)器，并計(jì)劃將其支持到2035年，因此市場(chǎng)上有大量的備件，尤其是在中國(guó)。
不過(guò)俄羅斯也根本沒(méi)啥怕的，在這之前他們首臺(tái)光刻機(jī)已經(jīng)制造完成并正在進(jìn)行測(cè)試。
俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長(zhǎng)瓦西里-什帕克指出，該設(shè)備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。
在俄羅斯看來(lái)，盡管350nm的芯片技術(shù)相較之下顯得落后，但它在汽車、能源和電信等諸多行業(yè)中仍有著應(yīng)用價(jià)值。
俄羅斯已經(jīng)表示，計(jì)劃到2026年實(shí)現(xiàn)65nm的芯片節(jié)點(diǎn)工藝，2027年實(shí)現(xiàn)28nm本土芯片制造，到2030年實(shí)現(xiàn)14nm國(guó)產(chǎn)芯片制造。 
