繼英特爾搶先于 2024 年 4 月宣布完成業(yè)界首臺(tái)高數(shù)值孔徑極紫外（High NA EUV）光刻機(jī)組裝后，臺(tái)積電竹科園區(qū)將于 9 月底前引進(jìn)其首臺(tái)高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，較外界所猜測的年底時(shí)間點(diǎn)提前一整個(gè)季度。
Digitimes 報(bào)道稱，臺(tái)積電首部 High NA EUV 設(shè)備的購入價(jià)格遠(yuǎn)低于原定的 3.5 億歐元（IT之家備注：當(dāng)前約 27.55 億元人民幣）報(bào)價(jià)。
據(jù)稱，臺(tái)積電之所以可以享受折扣，主要是因?yàn)?ASML 給出了很大讓步（畢竟臺(tái)積電可是超級(jí) VIP），全力協(xié)助臺(tái)積電進(jìn)機(jī)、調(diào)校與技術(shù)支援等，加速上線時(shí)間點(diǎn)，也就是此臺(tái)主要目的為臺(tái)積電試用。ASML 對(duì)此則表示，不評(píng)論單一客戶。
供應(yīng)鏈表示，隨著未來 3nm 產(chǎn)能滿載與預(yù)計(jì) 2025 年 Q4 量產(chǎn)的 2nm 制程客戶訂單陸續(xù)落袋，臺(tái)積電已重啟 EUV 設(shè)備拉貨動(dòng)能，估計(jì)此波新單規(guī)模約達(dá) 70 臺(tái)。
臺(tái)積電目前已經(jīng)掌控絕對(duì)市場占有率優(yōu)勢(shì)與話語權(quán)，也是至今 EUV 設(shè)備下單量最多的客戶，再加上是 High NA EUV 最大客戶，臺(tái)積電很顯然掌握著與 ASML 的議價(jià)優(yōu)勢(shì)。 
