據(jù)報(bào)道，近日全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機(jī)在杭州正式亮相，這臺(tái)設(shè)備由浙江大學(xué)余杭量子研究院自主研發(fā)，型號(hào)為“羲之”，已完成研發(fā)并進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試階段。

“羲之”是一款新一代100kV電子束光刻機(jī)，外觀酷似大型鋼柜，專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)。

可通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度可達(dá)0.6納米、線寬僅8納米，精度比肩國(guó)際主流設(shè)備，并且無需掩模版，可多次修改設(shè)計(jì)。

據(jù)介紹，與傳統(tǒng)光刻機(jī)相比，電子束光刻機(jī)在原型設(shè)計(jì)、快速迭代和小批量試制方面具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。

團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人表示：“芯片研發(fā)初期會(huì)設(shè)計(jì)很多版型、圖案，常常需要一條線一條線進(jìn)行修改，電子束光刻機(jī)精度高、‘書寫’便捷，極大提升了芯片研發(fā)初期反復(fù)調(diào)試的效率。”

此前先進(jìn)電子束光刻機(jī)類設(shè)備受國(guó)際出口管制，國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)長(zhǎng)期無法采購，而“羲之”的落地徹底打破了這一困局，目前已與國(guó)內(nèi)企業(yè)及多家科研機(jī)構(gòu)展開接洽。