ASML新任CEO近日公開表示，兩臺High NA EUV光刻機(jī)（單臺設(shè)備的售價約為3.5億美元）已經(jīng)在英特爾安裝完成了。
作為目前全球最先進(jìn)，也是最貴的光刻機(jī)，ASML寶石，High NA EUV光刻機(jī)不太可能像最初的EUV光刻機(jī)那樣出現(xiàn)延遲。
“我們只能期待它相對快速地推出和采用，因為High NA EUV光刻機(jī)更像是EUV光刻機(jī)的“升級款”，而不是一個全新的產(chǎn)品。”
有趣的是，臺積電以成本為由，遲遲不肯接受High NA。在外界看來，這有點像臺積電的談判游戲，也許是在與ASML爭奪更好的條件。
之前，ASML對外展示了最新EUV光刻機(jī)內(nèi)部畫面，這也引來了不少網(wǎng)友的圍觀，有人甚至表示，這不怕國產(chǎn)廠商逆向復(fù)刻嗎？
這臺EUV已于去年年底運抵其位于俄勒岡州的D1X工廠，英特爾計劃在2025年年底開始使用該系統(tǒng)進(jìn)行生產(chǎn)。
